在半导体行业，电子级硫酸是被称为芯片“清洁剂”的关键材料，长期被国外技术垄断。近日，中国石化集团南京化学工业有限公司传来消息，企业成功实现G4级电子级硫酸的工业化稳定量产，为国产芯片产业链的自主安全注入了强劲动力。
电子级硫酸是芯片制造过程中用量最大的湿电子化学品之一，核心作用是去除晶圆表面微小的金属杂质和颗粒污染物。按照国际SEMI标准，G4级电子级硫酸的金属离子杂质含量要求低于百亿分之一，这相当于在1000个标准泳池的水中，仅允许存在1克杂质。此前，国内半导体产业所需的G4级电子级硫酸长期依赖进口，不仅采购价格高昂，供应链安全也极易受制于人。
南京化工公司研究院高端化学品研究所副主任师李曜表示，面对迫切的自主保供需求，企业专门组建研发团队，成功破解了微量杂质管控、分离稳定性等核心技术难题，实现了洁净灌装环节的零污染。“这个成果确实来之不易，大家为此都做了很多的努力，我们相当于在‘微观世界’里做‘精准手术’，保证每个环节的洁净度控制都达到了极限。”
以此次G4级电子级硫酸的稳定量产突破为契机，南京化工公司还系统提炼形成了一套完整的工艺管控方案，下一步计划将成熟经验应用于电子级硝酸、电子级盐酸等其他关键湿电子化学品的工艺包开发中。南京化工公司电子化学品部硫酸作业区主任靳京介绍：“目前我们的产品已经通过了SGS国际权威的检测认证，更重要的是，我们这套工艺已经具备了向更高等级G5级迭代的技术潜力。未来，公司将加速构建拥有完全自主知识产权的湿电子化学品技术体系，全力保障国内日益增长的晶圆产能需求。”
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