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江苏南京:国产天车破垄断,创新引领向未来

2026年03月24日
在半导体制造领域,用于搬运大尺寸晶圆的天车系统长期被国外技术垄断,进口依赖问题严重。不过,位于南京江宁区的江苏道达智能科技有限公司率先打破这一局面,成功开发出国产首套高速天车系统。近日,该公司再度传来喜讯,第二代半导体磁驱OHT天车即将于3月25日亮相发布,新产品不仅打破国际垄断、填补国内技术空白,关键零部件还实现了100%的国产化率。

走进道达的洁净生产车间,记者看到二代天车正在软件系统的精准控制下,沿着轨道平稳运行,有条不紊地进行晶圆抓取测试。此次新发布的二代天车系统可谓亮点十足,它以磁驱推力取代传统的摩擦推力,并融入算力、AI技术。通过创新设计,实现了轻量化、低震动、高速度、低摩擦的特性,系统安全性得到大幅提升,控制系统也更加智能高效,能够更好地满足当前半导体厂对晶圆搬运高精度、高产能的严苛要求。

江苏道达智能科技有限公司董事长孙俊杰介绍道:“这一代(二代天车)大大提高了整个车子的稳定度和洁净度。对于工厂而言,它带来的搬运效率能提升10%。而且,原来我们使用的轮子可能一年到两年就需要更换一次,现在可能10年以后才需要更换。”

目前,二代天车从软件到关键零部件等各个环节均已实现100%的国产化率。这一系列技术突破的背后,是道达与南京的“双向奔赴”。2020年,道达携手东南大学共建南京东道电子装备技术研究院,积极开展产学研合作。在过去的六年里,得益于南京诸多高校强大的科研力量支持,公司接连实现了一代天车、二代天车的核心技术突破,成功开启国产天车的领军之路,为国内半导体产业发展提供了更加坚实、自主可控的技术支撑。

孙俊杰董事长感慨地说:“其中一些核心部件,像整个馈电系统、磁驱的整改电机,都已经实现了100%的国产化率。从一代车到二代车,我们非常感谢南京这片良好的科创土壤。以东南大学为代表的诸多高校,从馈电技术到先进的磁驱技术,甚至下一代磁浮技术,都给予了我们非常大的帮助。”


面向未来,道达智能科技并没有满足于现有的成绩,而是将目光瞄准了更加高效智能的三代磁浮天车。公司立志通过持续的技术创新,在国产天车领域做到国际领先水平。

孙俊杰董事长充满信心地表示:“我们首发了国产的磁驱天车,在这个领域打破了整个国际的垄断。随着我们国产化能力的不断提升,我们有机会打造出纯国产的产品,并将我们的产品更好地推向世界。”

  • 来源:南京广播电视台
  • 编辑:李文婷